Thông tin được truyền thông công bố ngày 28/7 cho biết, Tập đoàn Công nghệ Điện tử Thượng Hải Aishengna đang dẫn dắt chương trình sản xuất, sau khi tập hợp các nhóm kỹ sư từ nhiều công ty khởi nghiệp hàng đầu của Trung Quốc trong lĩnh vực máy quang khắc.

Đây được xem là một thành công lớn đối với chiến lược tự chủ của ngành bán dẫn mà Trung Quốc theo đuổi nhiều năm qua, một trong các ưu tiên hàng đầu mà Trung Quốc tập trung đầu tư. Tuy nhiên, bước tiến này chưa tạo ra mối đe dọa thương mại ngay lập tức đối với công ty ASML của Hà Lan - doanh nghiệp đang thống trị thị trường máy quang khắc DUV trên toàn cầu.

Theo trang tin công nghệ The Information, Thượng Hải Aishengna - một doanh nghiệp tại Thượng Hải đã bắt đầu sản xuất máy quang khắc DUV, với kế hoạch chế tạo khoảng 5 máy trong năm nay và khoảng 20 máy vào năm 2027. Hãng tin Reuters, sau đó, cũng đã xác nhận doanh nghiệp đó chính là Thượng Hải Aishengna.

Theo nguồn tin, mẫu máy DUV của Thượng Hải Aishengna vẫn cần trải qua thêm nhiều quá trình thử nghiệm và còn cách khá xa về hiệu năng so với các sản phẩm cùng loại của ASML.

Tuy nhiên, nếu được triển khai thành công, các máy quang khắc do Trung Quốc tự phát triển sẽ mang lại cho các nhà sản xuất chip trong nước một nguồn cung thiết bị thay thế trong trường hợp phương Tây tiếp tục siết chặt các biện pháp hạn chế xuất khẩu hoặc dịch vụ bảo dưỡng đối với máy quang khắc nước ngoài.

Theo trang The Information, các máy DUV “Made in China” dự kiến sẽ được bàn giao trong năm nay cho các doanh nghiệp sản xuất chip hàng đầu của Trung Quốc.

Công nghệ chiến lược

Máy quang khắc DUV dạng nhúng sử dụng một lớp nước giữa thấu kính chiếu và tấm wafer silicon, cho phép tạo ra các mạch điện có kích thước nhỏ hơn so với hệ thống DUV khô truyền thống.

Đây là thiết bị được sử dụng để sản xuất nhiều loại chip bán dẫn khác nhau. Thông qua kỹ thuật khắc nhiều lớp, công nghệ DUV ngâm cũng có thể chế tạo các dòng chip tiên tiến hơn bằng cách chiếu lặp lại nhiều lần trên cùng một lớp bán dẫn.

Các bên liên quan chưa đưa ra phản hồi về thông tin này.

Sau khi thông tin được The Information công bố, cổ phiếu ASML giảm tới 8% trong phiên giao dịch ngày 28/7. Đến sáng ngày 29/7, cổ phiếu hãng này tiếp tục giảm thêm 1,6%.

Theo hồ sơ doanh nghiệp, Shanghai Aishengna được thành lập vào tháng 8/2023 với vốn đăng ký 7 tỷ Nhân dân tệ (1 tỷ USD), chỉ có hai cổ đông đều là doanh nghiệp nhà nước.

Hiện rất ít thông tin được công bố về doanh nghiệp này. Công ty thậm chí chưa có website chính thức và chưa từng công khai hoạt động kinh doanh.

Nguồn tin cho biết Thượng Hải Aishengna đã tiếp nhận các nhóm kỹ sư từ công ty khởi nghiệp Yuliangsheng, đơn vị từng bắt đầu thử nghiệm nguyên mẫu máy DUV từ năm ngoái, cũng như từ Công ty Thiết bị Vi điện tử Thượng Hải (SMEE).

Thành quả bước đầu của nỗ lực tự chủ

Thông tin Trung Quốc đã có thể tự làm máy quang khắc DUV gây bất ngờ là bởi, trong nhiều năm qua, nước này phải chịu lệnh cấm mua các hệ thống quang khắc cực tím bước sóng cực ngắn EUV do Mỹ ban hành. Công nghệ tiên tiến nhất hiện nay do ASML sở hữu.

Bên cạnh đó, các biện pháp kiểm soát xuất khẩu của Hà Lan cũng hạn chế Trung Quốc tiếp cận một số dòng máy DUV hiện đại.

Dù Bắc Kinh đẩy mạnh tự chủ công nghệ, Trung Quốc vẫn là thị trường quan trọng đối với ASML, chiếm khoảng 16% doanh thu thuần của tập đoàn Hà Lan trong nửa đầu năm nay. Do chưa thể tiếp cận máy EUV, các doanh nghiệp sản xuất chip Trung Quốc vẫn phải mua số lượng lớn các hệ thống DUV của ASML.

Tháng 12/2026, từng có tin Trung Quốc đã chế tạo thành công nguyên mẫu máy quang khắc EUV. Tuy nhiên, công nghệ này vẫn còn cần nhiều năm phát triển nữa mới có thể bước vào giai đoạn sản xuất thương mại.

Mặc dù thị trường phản ứng khá mạnh trước thông tin Trung Quốc bắt đầu sản xuất máy DUV trong nước, nhiều chuyên gia cho rằng điều này chưa tạo ra tác động đáng kể tới triển vọng kinh doanh của ASML trong trung hạn. Theo đó, việc sản xuất được vài máy quang khắc DUV dạng nhúng không đồng nghĩa với việc có thể chế tạo các hệ thống đủ tiêu chuẩn phục vụ sản xuất hàng loạt. Điều quyết định là tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn, độ chính xác căn chỉnh, tốc độ xử lý và độ tin cậy sau hàng nghìn chu kỳ sản xuất tấm bán dẫn (wafer).